深圳电镀设备产业 深圳市志成达智能自动化科技供应

半导体滚镀设备

是一种于半导体制造中金属化工艺的精密设备，主要用于在半导体晶圆、芯片或微型元件表面沉积均匀的金属镀层。其在于通过可控的电化学或化学镀工艺，实现高精度、高一致性的金属覆盖，满足集成电路封装、先进封装及微机电系统等领域的特定需求

与传统滚镀不同，半导体滚镀更注重工艺洁净度、镀层精度及与半导体材料的兼容性。

二、功能

1.金属互连：在晶圆上形成铜导线。

2.凸块制备：沉积锡、铜、金等材料，用于芯片与基板的电气连接。

3.阻挡层/种子层镀覆：镀钛、钽等材料，防止金属扩散并增强附着力。

三、设备组成

1.电镀槽：

材质：耐腐蚀材料，避免污染镀液

镀液循环系统：维持镀液成分均匀，过滤颗粒杂质

2.旋转载具：

晶圆固定装置：真空吸附或机械夹持，确保晶圆平稳旋转

转速控制：通过伺服电机调节转速，优化镀层均匀性

3.阳极系统：

可溶性/不溶性阳极：铜、铂等材料，依镀层需求选择

阳极位置调节：控制电场分布，减少边缘效应

4.供液与喷淋系统：

多点喷淋头：均匀分配镀液至晶圆表面，避免气泡滞留

流量控制：精确调节镀液流速，匹配不同工艺需求

5.控制系统：

PLC/工控机：集成温度、pH值、电流密度等参数监测与反馈。

配方管理：存储不同镀层的工艺参数 镀铬设备配置铅锑合金阳极与阳极袋，过滤阳极泥渣，防止杂质污染镀液，维持硬铬镀层高硬度。深圳电镀设备产业

双筒过滤机特点：一机具备多功能用途，可依据客户使用条件，更换不同滤材。主滤筒采用耐腐蚀的PP/FRPP/PVDF一体注塑成型，耐酸碱腐蚀、防泄漏，且提供多种滤芯规格，可按精度需求选择，满足多元化应用。整机安装与操作简便，清洗便捷高效，占地面积小。支持根据客户不同需求，选择滤筒材质。适用领域，包括电镀、氧化、表面处理等多种工艺环节。分享不同材质的滤芯在电镀设备中的过滤效果有何差异？双筒过滤机的价格区间是多少？滤芯式过滤机在电镀行业中的市场占比是多少？深圳电镀设备产业工件篮设备用于篮镀工艺，网孔大小根据工件尺寸定制，兼顾电解液流通性与防止小件掉落。

滚镀机的工作原理

将小工件装入带孔的滚筒（聚氯乙烯或不锈钢材质），滚筒浸入电解液后缓慢旋转（5~15 转 / 分钟），通过滚筒壁的孔洞使电解液流通，同时工件在滚筒内翻滚，确保镀层均匀附着。

优势：

高效率：单次可处理数千件小工件，产能远超挂镀（适合单件或少量）。

低成本：减少人工挂卸成本，滚筒导电杆统一通电，能耗相对较低。

均匀性：工件在滚筒内动态接触电解液，避免屏蔽效应（挂镀中工件相互遮挡导致镀层不均）。

与生产线其他环节的配合

前处理：需先通过除油、酸洗去除工件表面油污和氧化皮，否则影响镀层结合力（滚镀机不具备前处理功能，依赖生产线前段设备）。

后处理：滚镀完成后，工件随滚筒吊出，进入水洗槽、钝化槽或封闭槽（如镀锌后的蓝白钝化），终干燥（生产线后段设备完成）。

自动化控制：滚镀机的转速、电镀时间、电流电压等参数由生产线 PLC 系统统一控制，与传输装置（如行车）联动，实现 “上料→前处理→滚镀→后处理→下料” 全流程自动化。

电泳生产线的特点

1.高效均匀

涂层厚度可控（通常 5~30μm），且无论工件形状多复杂（如内腔、焊缝），均可通过电场均匀覆盖，尤其适合结构复杂的工件（如汽车车身）。

2.环保节能

电泳漆以水为溶剂，VOC（挥发性有机物）排放低，符合环保要求；电能和涂料利用率高，浪费少。

3.高防腐性

阴极电泳涂层具有优异的耐腐蚀性，是汽车车身防腐的工艺（如汽车底漆耐盐雾测试可达 1000 小时以上）。

4.自动化程度高

从工件上线到涂层固化全流程自动化，减少人工干预，提高生产效率和一致性。

5.适用范围广

适合批量生产，工件材质包括金属（钢铁、铝、锌合金等）、塑料（需导电处理）等。 耐温设备针对高温电镀工艺（如黑色氧化处理），槽体采用耐高温 FRP 材质，耐受 100℃以上药液长期侵蚀。

电感双桶式滚镀设备

是专为电感类电子元件（如线圈、磁芯、电感器等）设计的电镀加工设备，其特点是采用双滚筒结构，结合滚镀工艺，以实现小型电感元件的高效、均匀镀层处理。

1. 结构与原理

双滚筒设计：两个滚筒可同时或交替运行，一桶装卸时另一桶持续工作，减少停机时间，提升产能。

滚筒优化：采用绝缘耐腐蚀材质（如PP），开孔设计促进镀液流通，防缠绕结构适配电感元件的细小特性。

滚镀工艺：元件在滚筒内翻滚，通过电流作用均匀沉积镀层（如镍、锡、银），双桶可调控转速、电流等参数。

2. 优势

高效连续生产：双桶交替作业支持大规模电镀，尤其适合贴片电感（SMD）、磁环等小件批量处理。

镀层均匀稳定：滚筒旋转避免元件堆积死角，结合阴极导电设计，确保复杂形状表面镀覆一致性。

低损伤高适配：柔和翻滚减少碰撞损耗，可适配防腐、可焊、导电等多种镀层工艺需求。

3. 应用与要点

典型场景：贴片电感、绕线电感、磁芯等镀镍（抗氧化）、镀锡（焊接）或镀银（高导）处理。

关键注意：需匹配元件尺寸选择滚筒孔径，定期维护镀液成分及导电触点，避免漏料或镀层缺陷。 电镀槽体的防腐内衬采用聚四氟乙烯（PTFE），耐受强酸碱与高温，延长设备使用寿命 30% 以上。深圳连续电镀设备

镀镍设备配套活性炭吸附装置，定期去除镀液中有机杂质，防止细孔、麻点等镀层缺陷。深圳电镀设备产业

如何选择电镀废气处理设备？

首先：看废气成分

硫酸雾等酸性废气选酸雾净化塔；低浓度有机废气用活性炭吸附装置，中高浓度则考虑催化燃烧装置；有颗粒物选布袋或静电除尘器，混合废气需组合设备。

其次：环保标准定

各设备处理率有别，处理量匹配电镀规模，大生产线选大风量设备，小厂选小风量的。

再次：运行成本

涵盖能耗、耗材及维护费，能耗低、耗材更换便宜、维护简单的设备更优。场地有限选紧凑设备，处理易燃易爆废气的要防爆。操作管理上，选自动化程度高的。

深圳电镀设备产业