非接触式晶圆厚度测量系统非接触式晶圆厚度测量系统是一种利用气体动静压原理工作的非接触式轴承，由于工作在平面度较好的花岗岩表面，因此本身也能获得非常理想的运动平面度及平顺性，特别适用于高精度检测以及超精加工领域。对射式非接触式同轴激光位移传感器测量?直线电机高精度龙门运动机构?兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量?共面气浮移动轴承确保样品的移动获得极高的平面度及平顺性?兼容1-8英寸规格晶圆样品(可扩展至300mm12英寸产品)?晶圆的测量厚度范围为10um-20mm?抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架?比较大扫描速度1m/s?可自定义生成快速便捷的自动化测量模式?直观简单的2D或3D数据呈现方式?适用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp测量参数及标准马波斯测量科技为您提供专业的光谱共焦传感器，有需要可以联系我司哦！江苏光谱共焦视觉检测传感器测量速度
光谱共焦线传感器由180个点组成，可以测量距离厚度粗糙度形状高分辨率各种材料适用于各种行业。适用于各种材料金属(抛光或粗糙),玻璃,陶瓷,塑料,碳,硅…同轴性无阴影影响精度&分辨率亚微米级精度，Z轴纳米级分辨率被动式(低温、易爆环境)测量区域外的热源和电源大角度镜面可达45°速度比点传感器快180倍光谱共焦视觉检测相机，AOI彩色共焦线相机检测系统：自动光学检测，可以测量尺寸高分辨率各种材料适用于各种行业。工业4.0100%在线自动测量与质量控制柔性系统，高速可达12m/s3D形状/轮廓测量多达6轴汽车挡风玻璃HUD多点厚度测量*需4秒高分辨率的直角坐标机械手：±0.05mm3到5轴3D形状和/或多点厚度测量：±0.05mm重复性适用任何反射表面3D系统致力于粗糙度，3D形貌测量3个高分辨率电动轴(X；Y；Z)：±0.001mm3大尺寸选择：100x100mm2；200x200mm2；300x300m2…可与STIL传感器配套使用，并集成了点、线、相机的3D软件系统亚微米级轴向分辨率薄涂层和空气间隙测量：小于1微米江苏Marposs 传感器厂家马波斯测量科技为您提供专业的光谱共焦传感器，期待您的光临！
Zenith采样频率：400Hz-5000Hz主要优势稳定通过15位编码增强性能，提供测量值稳定性非接触非接触式技术适用于所以不接触被测产品的情况下进行测量。全材料光谱共焦技术可测量各种能够反射的材料（例如：金属、玻璃、塑料、漆膜、液体等）。适配可更换的MARPOSSSTIL光学笔：CL-MG/OP/Endo/Everest系列同步主从模式的多传感器测量，编码器触发功能。应用汽车玻璃玻璃容器和包装行业(PCB)电子工业、3C、半导体行业（硅片）、精密仪器行业、电动车行业（电池）
在具体测量过程，需保证光强和量程预警指示灯为绿色，则测量的数据质量好，重复性精度高。如遇到橙色或红色显示，则需要根据上述方法调整传感器的状态。如尝尽上述方法都未能解决问题，请及时联系我们说的售后工程师，我们将帮助您解决该问题与您分享光谱共焦传感器光笔测头知识讲解与注意事项首先，测头是可以更换的：同一个控制器多可存储20个对应于不同的测头的校准表数据，即可配备20个不同的测头。其次，测头是完全无源的：因为它没有包含热源和移动部件，所以要避免可能影响传感器测量过程精度的任何热膨胀。将测头连接在控制器上的光缆长可以定做到10m，当整理光纤线时避免将其弯曲成曲率半径小于20mm的圆弧适用于在线应用高灵敏度和高精度可提供卡钳结构或测量设备可结合马波斯Quick-SPC软件进行数据处理。
ENITH控制器采用比较高质量标准制造，是一款坚固可靠的产品，可满足车间环境（如实验室）中**苛刻的应用，是工业环境中光谱共焦控制器的全新选择。ZENITH控制器的柔性测量，可以将被测产品造成损害的可能性降低到零。基于以太网通讯，ZENITH可以在非接触的情况下实现高精度的测量，而不会对被测产品造成任何损坏。ZENITH框架紧凑，结构稳固，专为7天24小时全天候使用而设计。2ZENITH能够在各种类型的材料和物体表面进行超高分辨率的距离和厚度测量，包括各种反射性材料。3高频率采样是ZENITH与编码器（**多5个）结合用于外部测量同步的动态应用的理想选择之一。4ZENITH的控制器可兼容所有MARPOSSSTIL光学笔：CL-MG、OP、ENDO和EVEREST，实现达纳米级精度的计量表现。马波斯提供非接触式传感器（测量力小）在内的多种传感器，以及显象或测量计算机。江苏Marposs 传感器厂家
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什么是光谱共焦干涉仪？非接触式轮廓测量技术中的测量精度，通常受机械振动和微扫描台位置不准确的限制。为不再受此类环境干扰，开发了对振动不敏感的全新干涉测量法。采用这种新型干涉仪系统，干涉仪显微镜的精度可达亚纳米级。光谱共焦干涉测量原理干涉测量法基于白光干涉图（SAWLI）的光谱分析。它包括分析在光谱仪上观察到的干扰信号，以便测量参比板和样品之间的气隙厚度。成熟系统的**性在于将参考板固定在检测目标上。由于参考板和样品固定在一起，机械振动不会影响测量结果。此外，该传感器可用于测量太薄而不允许使用光谱共焦技术的透明薄膜。**小可测厚度为0.4μm。江苏光谱共焦视觉检测传感器测量速度
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